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萊伯泰科高端質(zhì)譜賦能新質(zhì)生產(chǎn)力,助力我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展

更新時間:2024-07-18      點擊次數(shù):244

        順義區(qū)融媒體中心消息  隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展,質(zhì)譜儀作為芯片制造過程中的關(guān)鍵檢測設(shè)備,其國產(chǎn)替代意義重大。北京萊伯泰科儀器股份有限公司(以下簡稱“萊伯泰科”)質(zhì)譜研發(fā)部產(chǎn)品經(jīng)理王娟帶領(lǐng)團(tuán)隊迎難而上,破解高端質(zhì)譜儀研發(fā)難題,為國產(chǎn)質(zhì)譜儀的發(fā)展貢獻(xiàn)了智慧與力量。

萊伯泰科*端質(zhì)譜賦能新質(zhì)生產(chǎn)力,助力我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展 

LabMS 5000 電感耦合等離子體串聯(lián)質(zhì)譜儀(ICP-MS/MS)

萊伯泰科是一家專業(yè)從事實驗分析儀器研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的科技型公司,王娟現(xiàn)擔(dān)任公司質(zhì)譜研發(fā)部高級產(chǎn)品經(jīng)理。她曾在多家跨國儀器公司從事質(zhì)譜產(chǎn)品的技術(shù)支持、產(chǎn)品開發(fā)、行業(yè)方案制定等工作,具有豐富的質(zhì)譜產(chǎn)品開發(fā)和應(yīng)用工作經(jīng)驗。加入萊伯泰科4年多以來,王娟作為主要項目參與者,與團(tuán)隊成員一起攻關(guān)研發(fā)了單四桿質(zhì)譜、串聯(lián)三重四桿質(zhì)譜等。

在2023年度中國檢驗檢測學(xué)會科學(xué)技術(shù)獎獲獎評選中,萊伯泰科憑借其《硅片表面金屬離子國產(chǎn)檢測儀器首創(chuàng)項目》榮獲科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎二等獎,這一項目的帶頭人正是王娟。

過去,我國半導(dǎo)體行業(yè)中高端質(zhì)譜儀完全依賴進(jìn)口。王娟團(tuán)隊從2019年開始專攻電感耦合等離子體質(zhì)譜的研發(fā),歷經(jīng)艱辛終于成功推出LabMS 3000單四桿電感耦合等離子體質(zhì)譜儀。隨后,團(tuán)隊又開展了電感耦合等離子體串聯(lián)四桿質(zhì)譜儀、電感耦合等離子體四桿-飛行時間質(zhì)譜儀的研發(fā),并于2023年推出深度進(jìn)軍半導(dǎo)體行業(yè)的LabMS 5000電感耦合等離子體串聯(lián)四桿質(zhì)譜儀,打破了國外公司在該市場一家獨大的局面。

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王娟(右)和團(tuán)隊成員溝通設(shè)計細(xì)節(jié)

國產(chǎn)質(zhì)譜儀能夠與進(jìn)口設(shè)備抗衡,關(guān)鍵在于自主創(chuàng)新。王娟團(tuán)隊在LabMS 5000電感耦合等離子體串聯(lián)四桿質(zhì)譜儀的軟硬件設(shè)計上進(jìn)行了大膽突破,使其擁有了更高的靈敏度、更低的檢出限和更快的分析速度。該產(chǎn)品符合SEMI S2認(rèn)證,滿足了半導(dǎo)體制程最高級別制造客戶的要求。

談及研發(fā)國產(chǎn)質(zhì)譜儀的初心,王娟表示,團(tuán)隊懷揣著使命感,希望為國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控盡一份力,在壓力和迫切感之下,團(tuán)隊成員不斷學(xué)習(xí)、提高自己的能力,與產(chǎn)品共同成長。

目前,萊伯泰科與國內(nèi)頭部晶圓企業(yè)建立了合作關(guān)系,計劃將LabMS 5000電感耦合等離子體串聯(lián)四桿質(zhì)譜儀輻射到半導(dǎo)體上下游產(chǎn)業(yè)單位。王娟表示,團(tuán)隊將針對行業(yè)特點開發(fā)濕電子化學(xué)品、實時在線圓中超痕量元素等分析方法,為半導(dǎo)體制程中的質(zhì)量控制提供技術(shù)支撐,助力半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展。

萊伯泰科*端質(zhì)譜賦能新質(zhì)生產(chǎn)力,助力我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展 

王娟(右二)和團(tuán)隊成員討論技術(shù)難點

隨著半導(dǎo)體行業(yè)對質(zhì)譜檢測需求的不斷提升,國產(chǎn)質(zhì)譜儀的市場規(guī)模也將持續(xù)擴(kuò)大。王娟充滿信心地說:“萊伯泰科質(zhì)譜研發(fā)團(tuán)隊將繼續(xù)加大研發(fā)投入,提升國產(chǎn)高端串聯(lián)質(zhì)譜儀器的性能,為半導(dǎo)體行業(yè)提供更全面、高效的解決方案,鞏固國產(chǎn)質(zhì)譜儀在高端檢測領(lǐng)域的領(lǐng)先地位。” 

在萊伯泰科和王娟帶領(lǐng)的質(zhì)譜研發(fā)團(tuán)隊不懈努力下,國產(chǎn)質(zhì)譜儀正在成為推動我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展重要的力量!

 

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